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铌靶材的核心特点 1、材料特性:超高纯度、高熔点与耐高温性、低热膨胀系数; 2、功能性能 溅射性能:体心立方晶体结构确保溅射速率均匀,薄膜致密性高,附着力强; 化学稳定性:常温下耐盐酸、硝酸等强酸腐蚀,表面氧化膜可进一步提升保护性; 典型应用领域 半导体制造:用于溅射高纯度铌薄膜,提升芯片电容密度和信号传输效率; 光学镀膜:作为抗反射层材料,降低激光雷达光损耗至1.5%以下; 新能源领域:用于光伏电池电极或锂电池集流体,增强耐腐蚀性和导电性。
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